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{***空气过滤器检漏}方法

——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是***早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。现代电子产品要求微型化、高纯度、高质量和高可靠性，以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例，它所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作，其中以集成电路生产过程对受控环境的要求尤为严格。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。 微粒计数器测试法

半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

{洁净室检测}

——气流***——

为了特定目的而在室内造成一定的空气流动状态与分布，通常叫做气流***。——***过滤器检漏——一、说明过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，***复杂、***耗时间的测量项目。一般来说，空气自送风口进入房间后首先形成射入气流，流向房间回风口的是回流气流，在房间内局部空间回旋的则是涡流气流。为了使工作区获得低而均匀的含尘浓度，洁净室内***气流的基本原则是：限度地减少涡流；使射入气流经过短流程尽快覆盖工作区，希望气流方向能与尘埃的重力沉降方向一致；使回流气流有效地将室内灰尘排出室外。

气流***分为三种类型：

单向流：沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流(以前也称层流)。

非单向流 ：凡不符合单向流定义的气流（以前也称乱流）。

混合流：单向流和非单向流组合的气流。

可见洁净车间与一般的空调车间相比是完全不同的。空调车间为了获得均匀的温度、湿度而用紊流度大的气流方式，使射流同室内原有空气混合，并把工作区置于空气得到混合后的回流区内。

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三、无尘洁净室中的三尘。洁净室检测状态之-空态、静态、动态术语:在《洁净厂房设计规范中》中给洁净室的三种状态做了以下定义:空态as-built洁净室测试设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的***净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。

四，无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。