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{洁净室检测}状态之-空态、静态、动态

洁净室检测状态之-空态、静态、动态

术语:

在《洁净厂房设计规范中》中给洁净室的三种状态做了以下定义:

空态 as-built洁净室测试

设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

静态 at-rest

设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。

动态 operational

设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下:

空态洁净室的检测--Installation qualificafion(IQ)

静态洁净室的检测--Operational qualificafion(OQ)

动态洁净室的检测--Performance qualificafion(PQ)

空态洁净室的检测(IQ)

检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点:

1、洁净室设备的成套性;

2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;

3、公用和辅助设备功能运转是否正确;

4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定(检查)日期;

5、安装质量;

6、安装过滤器(***终过滤器)的完整性;

7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量;

8、压差;

9、气流特性(单向气流--流速，均匀性和气流方向);

10、维护结构的密闭性;

11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;

12、表面洁净度;

13、包装中是否有备件。

检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更高的级别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。

静态洁净室的检测(OQ)

本阶段的检测至少应完成下列各项工作:

1、确认洁净区划分原则是否符合要求;

2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数;

3、确定保持温度和相对湿度的稳定性;

4、按粒子数确定洁净度级别;

5、确定压差;

6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度;

7、确定照度;

8、确定噪声级;

9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数(必要时);

10、将取得数据结果写成书面文件。

动态洁净室的检测(PQ)

为了评估动态洁净室工作的稳定性:

1、验证洁净室分割制度;

2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力;

3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度(必要时);

4、验证压差;

5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度(必要时);

6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等;

7、检查人员是否经过培训，是否有培训体系和相应的文件;

必要时还要检查振动强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。

在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常监控，监控要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性

检测可在洁净室工作过程中进行(重复检测);

发生下列各项后需进行重复检测:

1、洁净室达不到给定参数的原因已消除;

2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异(如改变工艺流程等);

3、空气长时间停止流通(进风)而影响洁净室工作;

4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。

{洁净室检测}

1、空气过滤

1)空气过滤器是当前空气净化重要的手段。所有送入洁净室的空气应经初效、中效、***或亚***过滤器的过滤。

2)初效过滤器主要用作对新风及大颗粒尘埃的控制，主要过滤对象是＞10μm的尘粒；较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。中效及高中效过滤器主要用作对末级过滤器的预过滤和防护，主要处理对象是1～10μm尘粒；亚***过滤器用作终端过滤器或作为***过滤器的预过滤，主要处理对象＜5μm的尘粒；***过滤器作为送风及排风处理的终端过滤，主要过滤＜1μm的尘粒。

(1) 空气过滤器的性能

空气过滤器的性能有风量、过滤效率、空气阻力和容尘量等指标，它们是评价空气过滤器的四项主要指标。总的来说希望过滤器的效率高、阻力小而容尘量大。

(2) 过滤器在空气净化系统中的应用

1.在空气净化系统中从吸入新风开始，一般分为三级过滤：一级使用初效过滤器，第二级使用中效或亚***过滤器，第三级使用***过滤器。

3、然而，生物洁净室对环境洁净度的控制尚不仅限于微粒。

4、***，鉴于它救人的特殊作用，在生产环境中除了对非生命污染物——微粒要加以限制外，还必须对有生命的污染物——微生物做出必须的规定。因为它们对***的污染比微粒更甚，不加以控制则对***危害更为严重。面积在15平方米以上，还应再测对角4点，距侧墙各1米，测点朝向各角。微生物多指***和***，可以在一切地方产生，有很强的繁殖力。空气中的微生物多数附着在灰尘上，也有的以芽孢状态悬浮在空气中。微生物污染是指因微生物产生、附着而给特定的环境带来的不良影响，由于微生物不断生长和繁殖，因为它是“活的粒子”。

5、正是因为这些原因，生物洁净室必须同时对生产环境中的微粒和微生物加以控制。（SDA）颁布?规范?附录中提出的***生产洁净室的空气洁净度级别就体现了这方面的要求，同时也反映出***生产企业洁净室不同于其 他工业洁净厂的特点。